與DeviceNet通信兼容的質量流量控制器。

安裝在最新半導體制造設備中的控制設備越來越多地使用開放現場工作通信來實現高速控制和簡化布線，而不是模擬控制。

琳得科在業內
開發了 MC-5000L，這是一款符合 SEMI 標準的 DeviceNet™ 通信質量流量控制器。配備半導體制造所需的金屬密封件和環境溫度補償流量傳感器。還提供各種選項，例如兼容液化氣體。