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產品分類美國3m半導體電子氟化液FC-40的產品介紹
3M™ Fluorinert™ FC-40是一種不導電,熱力學和化學穩定性好的液體,是理想的單相傳熱介質,尤其適用于電子和半導體行業的檢測,化學汽相沉積,TFT生產透明、無色、不導電、不可燃、無殘留、具有熱穩定性和化學穩定性的液體,非常適用于許多傳熱流體應用。其廣泛的液程(-57至165攝氏度)和高的材料兼容性使其非常適用于各種電子單相和雙相傳熱應用,包括半導體市場的蝕刻機、離子植入機、測試機、CVD和TFT制造等。由于 FC-40 的沸程較窄,因此其成分隨時間變化很小,這將流體損失降至最的低,并確保傳熱的一致性。
產品亮點
熱穩定性好 化學穩定性好 液相范圍寬 不導電 沸程窄 兼容性
規格